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碳化硅涂层石墨盘就是选用物理或化学气相堆积、喷涂等方法，在石墨表面制备碳化硅保护层。制备的碳化硅保护层，可牢牢的巴结在石墨基体上，使石墨基座表面致密、无空隙，赋予石墨基体特别的性能，包含抗氧化、耐酸碱、耐冲刷、耐腐蚀等。碳化硅涂层石墨盘是目前单晶硅外延成长用和氮化镓（GaN）外延成长用最 好的基座之一，是外延炉的核心部件碳化硅涂层。
当时，我国国内碳化硅涂层石墨盘生产商数量较少，但产能产值较低，产品质量也与欧美先进国家的抢先企业有必定距离，因而在供给能力及碳化硅涂层石墨盘质量等方面均无法满足下游应用领域需求。整体来看，国内碳化硅涂层石墨盘职业集中度较高碳化硅涂层，Sgl Carbon、Toyo Tanso、Bay Carbon等国外厂商占据大部分商场份额，而本乡企业碳化硅涂层石墨盘生产能力有限，所占商场份额较小。
依据依据新思界工业研讨中心发布的《2021-2025年我国碳化硅涂层石墨盘职业深度研讨及商场出资危险咨询报告》，2020年，我国碳化硅涂层石墨盘表观消费量为6.13万件，我国本乡生产商碳化硅涂层石墨盘产值为0.21万件，碳化硅涂层本乡厂商碳化硅涂层石墨盘产值仅占当年国内碳化硅涂层石墨盘表观消费量的3.4%，我国碳化硅涂层石墨盘需求仍主要依靠进口满足。
从相关工业来看，当时，国内碳化硅涂层石墨盘相关制作设备开展不甚老练，国产设备在控制精度、响应速度、连续生产稳定性等方面存在较多不足，影响碳化硅涂层石墨盘产品质量，因而国内碳化硅涂层石墨盘生产企业所需的设备主要依赖进口。从产品层面而言，国产碳化硅涂层石墨盘在理论研讨方面开展较好，但工业化推动缓慢，国内碳化硅涂层石墨盘量产工艺技术落后，产能产值严重不足，碳化硅涂层致使国内碳化硅涂层石墨盘商场仍为进口商品所主导。
新思界职业研讨员表示，碳化硅涂层石墨盘主要用于半导体工业的诸多生产环节，近年，受全球工业转移及国内技术进步、方针支持、终端工业开展等要素影响，我国半导体工业体现出杰出的开展态势，为碳化硅涂层石墨盘需求增长提供了有力支撑。可以预见，碳化硅涂层石墨盘及其相关职业未来开展环境还将长时间向好。
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