碳化硅（SiC）材料具有耐高温，耐腐蚀等优点。利用 CVD 气相沉积技术生成的碳化硅材料，相比于烧结成型的碳化硅（SiC) 材料纯度更高，因此 SiC 涂层技术在半导体产业中应用广泛，特别是 LED 外延生长过程中的载盘及 Si 单晶外延中用到的载盘，都需要用到 SiC 涂层技术。由于 LED 在照明及显示产业中的发展，以及半导体行业的持续发展，对 SiC 涂层技术及产品的需求也随之增加。我们公司基于长期技术积累，研发 SiC 涂层技术及产品，实现 SiC 涂层产品的国产化，替代国外进口。