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碳化硅(SiC)材料具有耐高温,耐腐蚀等优点。利用 CVD 气相沉积技术生成的碳化硅材料,相比于烧结成型的碳化硅(SiC) 材料纯度更高,因此 SiC 涂层技术在半导体产业中应用广泛,特别是 LED 外延生长过程中的载盘及 Si 单晶外延中用到的载盘,都需要用到 SiC 涂层技术。由于 LED 在照明及显示产业中的发展,以及半导体行业的持续发展,对 SiC 涂层技术及产品的需求也随之增加。我们公司基于长期技术积累,研发 SiC 涂层技术及产品,实现 SiC 涂层产品的国产化,替代国外进口。

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